High-Stress Si3N4 Reflective Membranes Monolithically Integrated with Cavity Bragg Mirrors
Este trabalho apresenta uma estratégia de integração monolítica e escalável que suspende membranas de nitreto de silício de alta tensão sobre refletores Bragg distribuídos termicamente compatíveis usando um processo de subcorte a seco, preservando a baixa dissipação mecânica e permitindo cavidades optomecânicas de alta finesse sem alinhamento complexo.