Cryogenic Loss Limits in Microwave Epitaxial AlN Acoustic Resonators
Este artigo apresenta a fabricação e caracterização de ressonadores de onda acústica de volume em nitreto de alumínio epitaxial a 16 GHz em temperaturas criogênicas, validando um modelo físico baseado em mecanismos de perda intrínsecos e extrínsecos que estabelece limites fundamentais de fator de qualidade para o desenvolvimento de hardware quântico e comunicações 6G.