Sputtered NbN Films for Ultrahigh Performance Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors
Este artigo estabelece a relação teórica e experimental entre os parâmetros da sputtering reativa por magnetron e as propriedades de filmes ultrafinos de NbN sobre diversos substratos, identificando finalmente características específicas do filme (uma temperatura crítica próxima de 9 K e resistência de folha de 400 /sq) como ótimas para a fabricação de detectores de fóton único por nanofio supercondutor de ultra-alto desempenho.