Reducing TLS loss in tantalum CPW resonators using titanium sacrificial layers
Os autores demonstram que a deposição de uma camada sacrificial de titânio ultrafina sobre filmes de tântalo atua como um sequestrador de oxigênio em estado sólido para reduzir quimicamente a interface de óxido nativo, sendo posteriormente removida para produzir ressonadores de guia de onda coplanar de tântalo com fatores de qualidade interna superiores a 1,5 milhão, representando uma melhoria de três vezes em relação aos dispositivos não tratados.