A kinetic-moment framework for electron energy dynamics in capacitively coupled plasmas: absorption, conversion, transport, and dissipation
Este artigo propõe um arcabouço de momento cinético baseado em simulações PIC/MCC para descrever quantitativamente a dinâmica da energia eletrônica em plasmas capacitivamente acoplados de baixa pressão, revelando que os elétrons ganham energia cinética direcionada na bainha, convertem-na em energia térmica por meio de interações de pressão-deformação e colisões, e a transportam de forma não local para o bulk, onde é dissipada por colisões inelásticas, tudo isso enquanto demonstra que o fluxo de calor desvia significamente da lei de Fourier.