Mechanical and Interfacial Properties Characterization of Physical Vapor Deposited Metallic Films after Rapid Thermal Annealing
Este estudo investiga os efeitos da temperatura de Recozimento Térmico Rápido nas propriedades mecânicas, adesão interfacial e evolução microestrutural de filmes de alumínio e cobre depositados por Deposição Física de Vapor, revelando que, embora o recozimento reduza a dureza e o módulo de elasticidade, ele pode aumentar a força de adesão através do crescimento de grãos e mudanças na morfologia superficial, fornecendo, assim, insights críticos para a otimização dos parâmetros de processamento em aplicações de semicondutores.