A Statistical Framework for Laser-Induced Subsurface Modification and Cracking in 4H-SiC
Este artigo estabelece um arcabouço estatístico probabilístico utilizando análise de Weibull e caracterização morfológica para mapear a transição da modificação subsuperficial para o trincamento estável em 4H-SiC, identificando o passo do pulso como o parâmetro crítico para definir janelas de processo de fatiamento a laser reproduzíveis.