Compositional gradient engineering for enhanced ferroelectricity in ultrathin AlScN
Diese Arbeit zeigt auf, dass kompositorisches Gradienten-Engineering in ultradünnen AlScN-Filmen Leckströme und Durchbrüche durch die Verteilung struktureller Diskontinuitäten mildert und dadurch eine robuste ferroelektrische Schaltfähigkeit in Stapeln mit einer Dicke von nur 5 nm ermöglicht, wobei die Resistivität und Polarisation im Vergleich zu homogenen Gegenstücken signifikant verbessert werden.