From Duffing amplification to third-superharmonic isolation: dual nonlinear regimes for high-performance piezoelectric MEMS electric field sensing
Dieses Papier präsentiert einen piezoelektrisch angetriebenen MEMS-Elektrikfeldsensor, der die Resonanz der dritten Oberharmonischen nutzt, um durch nichtlineare Verstärkung gleichzeitig eine hohe Empfindlichkeit zu erreichen und eine überlegene Leistung durch die effektive Isolierung des Signals von parasitären kapazitiven Durchschlägen zu erzielen, wodurch die den traditionellen Duffing-basierten Designs inhärenten Dynamikbereichsbeschränkungen überwunden werden.