A kinetic-moment framework for electron energy dynamics in capacitively coupled plasmas: absorption, conversion, transport, and dissipation
Diese Arbeit schlägt ein kinetisch-momentbasiertes Framework vor, das auf PIC/MCC-Simulationen basiert, um die Dynamik der Elektronenenergie in niederdruckbasierten kapazitiv gekoppelten Plasmen quantitativ zu beschreiben, wobei aufgezeigt wird, dass Elektronen in der Schicht gerichtete kinetische Energie gewinnen, diese über Druck-Dehnungs-Wechselwirkungen und Kollisionen in thermische Energie umwandeln und sie nichtlokal in das Bulk-Plasma transportieren, wo sie durch inelastische Kollisionen dissipiert wird, während gleichzeitig nachgewiesen wird, dass der Wärmefluss signifikant vom Fourier-Gesetz abweicht.