White-Light Spectral Interferometry for Thin-Film Thickness and Group-Index Dispersion Metrology
Diese Arbeit präsentiert ein einheitliches theoretisches und simulationsbasiertes Framework für die Weißlicht-Spektralinterferometrie, das eine hochpräzise, scanfreie Messung der Schichtdicke von dünnen Filmen (mit einer Genauigkeit von 0,2 nm) sowie der Gruppenbrechungsindex-Dispersion unter Verwendung eines einzigen faseroptischen Spektrometer-Aufbaus ermöglicht.