SemiFA: An Agentic Multi-Modal Framework for Autonomous Semiconductor Failure Analysis Report Generation
Das Paper stellt SemiFA vor, ein autonomes Multi-Modal-Framework, das mithilfe eines vier-Agenten-LangGraph-Pipelines und eines neuartigen Datensatzes (SemiFA-930) innerhalb einer Minute strukturierte Halbleiter-Fehleranalyseberichte generiert, indem es Inspektionsbilder mit SECS/GEM-Telemetriedaten fusioniert.