A kinetic-moment framework for electron energy dynamics in capacitively coupled plasmas: absorption, conversion, transport, and dissipation
Este artículo propone un marco de momento cinético basado en simulaciones PIC/MCC para describir cuantitativamente la dinámica de la energía electrónica en plasmas acoplados capacitivamente de baja presión, revelando que los electrones ganan energía cinética dirigida en la vaina, la convierten en energía térmica a través de interacciones de presión-deformación y colisiones, y la transportan de manera no local hacia el seno del plasma donde es disipada por colisiones inelásticas, todo esto mientras demuestra que el flujo de calor se desvía significamente de la ley de Fourier.