Small-Data Machine Learning Uncovers Decoupled Control Mechanisms of Crystallinity and Surface Morphology in β-Ga2O3 Epitaxy
Cette étude présente un cadre d'apprentissage automatique interprétable et efficace en données qui optimise l'épitaxie de β-Ga2O3 par dépôt laser pulsé, révélant des mécanismes de contrôle découplés où la température régit la cristallinité et la pression d'oxygène la morphologie de surface, permettant ainsi d'atteindre une qualité cristalline record avec seulement trois itérations expérimentales.
Min Peng, Yuanjun Tang, Dianmeng Dong, Yang Zhang, Cheng Wang, Shulin Jiao, Xiaotong Ma, Shichao Zhang, Jingchen Wang, Huiying Wang, Yongxin Zhang, Huiping Zhu, Yue-Wen Fang, Fan Zhang, Zhenping Wu2026-03-24🔬 cond-mat.mtrl-sci