Thermal conductivity tuning of scalable nanopatterned silicon membranes measured with a three-probe method
Cette étude présente une méthode de fabrication évolutive de membranes de silicium nanopatternées par auto-assemblage de copolymères, couplée à une technique de mesure thermique à trois sondes améliorée, permettant de réduire et de contrôler de manière significative la conductivité thermique du silicium phononique jusqu'à un facteur cinq.