Transition Metal Dichalcogenide MoS: oxygen and fluorine functionalization for selective plasma processing
Cette étude démontre que la fonctionnalisation par l'oxygène et le fluor, combinée à des températures cryogéniques, élargit considérablement la fenêtre d'énergie des ions pour permettre un retrait sélectif du soufre dans le MoS₂ sans endommager le réseau métallique lors du traitement par plasma.