Oxygen as a dual function regulator in MoS2 CVD synthesis: enhancing precursor evaporation while modulating reaction kinetics
Cette étude révèle le rôle dual de l'oxygène dans la synthèse CVD du MoS2, où il améliore l'évaporation du précurseur tout en modulant la cinétique de réaction, permettant ainsi d'établir un diagramme de phase cinétique pour la production contrôlée de monocouches de haute qualité.