A correlation of structural changes with nanomechanical properties in TiN-AlN multilayer films
Cette étude démontre que dans les films multicouches de TiN-AlN déposés par pulvérisation réactive, la transformation de phase de l'AlN de cubique à hexagonal au-delà d'une épaisseur de 3 nm, tout en réduisant la dureté globale, améliore significativement la tolérance aux dommages en favorisant la déflexion des fissures et une transition d'une rupture fragile vers une rupture partiellement ductile.