Impact of O concentration on the thermal stability and decomposition mechanism of (Cr,Al)N compared to (Ti,Al)N thin films
Cette étude révèle que si l'incorporation d'oxygène améliore significativement la stabilité thermique des films (Ti,Al)(O,N) en inhibant la décomposition, elle n'a pas d'effet similaire sur les films (Cr,Al)(O,N) car leur décomposition est déclenchée par la rupture des liaisons Cr-N et l'évaporation consécutive de l'azote, ce qui crée des lacunes facilitant un transport de masse rapide quel que soit le contenu en oxygène.