Tuning of Atomic Layer Deposition Pulse Time through Physics-Informed Bayesian Active Learning
Ce papier présente un cadre d'apprentissage actif bayésien informé par la physique qui intègre un modèle d'adsorption de Langmuir avec une stratégie d'estimation de paramètres en deux étapes pour régler de manière autonome et efficace les temps d'impulsion du dépôt en couches atomiques, permettant une convergence plus rapide, une précision de prédiction supérieure et une réduction significative de l'utilisation de précurseurs par rapport aux approches standard basées sur les données.