Source Shot Noise Mitigation in Focused Ion Beam Microscopy by Time-Resolved Measurement
En combinant une détection temporelle résolue et une estimation du maximum de vraisemblance, cette étude démontre que le bruit de tir de la source dans la microscopie à faisceau d'ions focalisés peut être atténué, permettant d'améliorer la précision de l'image ou de réduire la dose d'ions requise d'un facteur correspondant au rendement en électrons secondaires.