Tantalum Damascene Coplanar Waveguide Resonators Fabricated Using 300 mm Scale Processes
यह शोध पत्र टेंटलम कोप्लेनर वेवगाइड रेज़ोनेटरों में लॉसवी (lossy) नेटिव साइडवॉल ऑक्साइड को मेटल/सबस्ट्रेट इंटरफेस से बदलने के लिए डैमासीन फैब्रिकेशन प्रक्रिया के उपयोग की जांच करता है, जो प्रदर्शन में एक मामूली सुधार प्रदर्शित करता है जो सतह भागीदारी (surface participation) में कमी का सुझाव देता है।