Uncertainty-aware calibration from SEM profiles to electrical response using coupled process and device TCAD
Questo articolo introduce un framework computazionale a ciclo chiuso e consapevole dell'incertezza che mappa i profili SEM sulle risposte elettriche propagando le distribuzioni dei bordi attraverso simulazioni TCAD di processo e di dispositivo accoppiate, migliorando così l'accuratezza della previsione elettrica e l'efficienza di annotazione rispetto alla calibrazione convenzionale a bordo rigido.