SemiFA: An Agentic Multi-Modal Framework for Autonomous Semiconductor Failure Analysis Report Generation
Il paper presenta SemiFA, un framework multi-modale basato su agenti che automatizza la generazione di rapporti di analisi dei guasti nei semiconduttori in meno di un minuto, integrando immagini di ispezione, telemetria delle apparecchiature SECS/GEM e dati storici per classificare i difetti, identificarne le cause radice e proporre aggiustamenti di processo.