Filamentary Transport and Thermoelectric Effects in Mushroom Phase Change Memory Cells
本研究は、2次元有限要素熱電シミュレーションを用いて、GeSbTeマッシュルーム型相変化メモリセルにおいて、電流が上部電極から狭い下部電極へと流れる際に熱電効果とフィラメント状輸送がリセットエネルギーおよび電力を大幅に低減することを実証するとともに、プログラミング体積が10 nmを超える電極寸法には依存しないこと、および、より大きな電極は信頼性の向上と引き換えにばらつきが増大することを明らかにしている。