Impact of O concentration on the thermal stability and decomposition mechanism of (Cr,Al)N compared to (Ti,Al)N thin films
この研究は、酸素の取り込みが分解を抑制することによって(Ti,Al)(O,N)薄膜の熱安定性を著しく向上させる一方で、(Cr,Al)(O,N)薄膜にはそのような効果をもたらさないことを明らかにしており、その理由は、後者の分解がCr-N結合の切断とそれに続く窒素の蒸発によって引き起こされ、それによって生じる空孔が酸素含有量に関わらず急速な質量輸送を促進するためである。