Lithographic integration of TES microcalorimeters with SQUID multiplexer circuits for large format spectrometers
この論文は、ワイヤーボンディングやフリップチップボンディングの制限を克服し、数千ピクセル規模の大型スペクトロメータにおける検出器の充填率を最大化するため、TES マイクロカロリメータと SQUID 多重化回路を単一のシリコン基板上に集積する「TES-SoC」の製造プロセスを開発し、その機能性と実用性を初めて実証したものである。
Robinjeet Singh, Avirup Roy, Daniel Becker, Johnathan D. Gard, Mark W. Keller, John A. B. Mates, Kelsey M. Morgan, Nathan J. Ortiz, Daniel R. Schmidt, Daniel S. Swetz, Joel N. Ullom, Leila R. Vale, Mi (…)2026-03-23🔬 physics.app-ph