SemiFA: An Agentic Multi-Modal Framework for Autonomous Semiconductor Failure Analysis Report Generation
이 논문은 반도체 검사 이미지와 장비 시계열 데이터를 융합하는 4 개 에이전트 기반의 멀티모달 프레임워크 'SemiFA'를 제안하여, 기존에 수시간이 소요되던 반도체 고장 분석 (FA) 보고서를 1 분 이내의 자동 생성으로 단축하고 정확성을 입증한 연구입니다.