A Variable-Spot-Size and Multi-Frequency Square-Pulsed Source (SPS) Approach for Comprehensive Characterization of Anisotropic Thermal Transport Properties in Multilayered Thin Films
Dit artikel introduceert een methode met variabele spotgrootte en multi-frequentie vierkante pulsen (SPS) voor de gelijktijdige bepaling van anisotrope thermische geleidbaarheid, warmtecapaciteit en grensvlakgeleidingsvermogen in complexe multilagen dunne films, waarbij de nauwkeurigheid wordt bevestigd door metingen aan een silicium-op-isolator (SOI)-monster over een temperatuurbereik van 80 tot 500 K.