Engineering Wake-Up-Free Ferroelectric Capacitors with Enhanced High-Temperature Reliability
Dit onderzoek toont aan dat ferro-elektrische HZO-condensatoren met een wolframelektrode en plasma-versterkte ALD-bewerking wake-up-vrij en uiterst betrouwbaar werken bij temperaturen tot 125°C, voornamelijk dankzij de gunstige oxidelaag op het wolframe, terwijl deze voordelen bij titaniumnitride-elektroden ontbreken.