Thermal conductivity tuning of scalable nanopatterned silicon membranes measured with a three-probe method
In dit werk wordt een schaalbare nanogestructureerde siliciummembranen geproduceerd met behulp van zelfassemblerende blokcopolymeren, waarbij een uitgebreide drie-probe-methode wordt gebruikt om de thermische geleidbaarheid nauwkeurig te karakteriseren en te tonen dat gecontroleerd etsen van nanogaten de thermische geleidbaarheid bij kamertemperatuur met een factor vijf kan verlagen.