From Duffing amplification to third-superharmonic isolation: dual nonlinear regimes for high-performance piezoelectric MEMS electric field sensing
Dit artikel presenteert een piëzo-elektrisch aangedreven MEMS-elektriciteitsveld-sensor die gebruikmaakt van derde-superharmonische resonantie om tegelijkertijd een hoge gevoeligheid te bereiken door middel van nietlineaire amplificatie en superieure prestaties door het signaal effectief te isoleren van parasitaire capacitieve doorvoer, waardoor de beperkingen in het dynamisch bereik die inherent zijn aan traditionele Duffing-gebaseerde ontwerpen worden overwonnen.