Design and Modeling of a Novel Two-Movable-Plate RF-MEMS Switch for Low Actuation Voltage and Fast Switching
Dit artikel presenteert een nieuwe RF-MEMS serie-schakelaar met twee beweegbare platen die gebruikmaakt van een dual-plate configuratie en meanderende balken om simultaan een lage pull-in spanning van 2,29 V en een snelle schakeltijd van 22,8 µs te bereiken, gevalideerd door middel van analytische modellering, elektromechanische simulatie en RF-prestatieanalyse op 18 GHz.