On-chip stencil lithography for superconducting qubits
De auteurs presenteren een robuust, on-chip stencilmasker van anorganisch SiO/SiN voor de fabricage van Josephson-juncties dat bestand is tegen agressieve reiniging en hoge temperaturen, en demonstreren dat deze techniek compatibel is met supergeleidende qubits met coherente tijden tot 75 µs.