Lithographic integration of TES microcalorimeters with SQUID multiplexer circuits for large format spectrometers
Dit artikel beschrijft de eerste demonstratie van een geïntegreerde fabricage van soft X-ray TES-microcalorimeters en SQUID-multiplexers op één siliciumchip, waarbij lithografische interconnecties worden gebruikt om de vulfactor van grote detectorarrays te maximaliseren.