High-Stress Si3N4 Reflective Membranes Monolithically Integrated with Cavity Bragg Mirrors
Deze studie presenteert een monolithische fabricatiestrategie die hoogspannings Si3N4-membranen integreert met thermisch compatibele Bragg-spiegels via een droog proces, waardoor schaalbare optomechanische caviteiten met hoge optische finesse en mechanische Q-factoren worden gerealiseerd zonder complexe uitlijning.