From Duffing amplification to third-superharmonic isolation: dual nonlinear regimes for high-performance piezoelectric MEMS electric field sensing
Este artigo apresenta um sensor de campo elétrico MEMS acionado por piezoeletricidade que utiliza a ressonância de terceira harmônica superior para alcançar simultaneamente alta sensibilidade através de amplificação não linear e desempenho superior ao isolar efetivamente o sinal de interferências capacitivas parasitas, superando, desta forma, as limitações de faixa dinâmica inerentes aos designs tradicionais baseados em Duffing.