White-Light Spectral Interferometry for Thin-Film Thickness and Group-Index Dispersion Metrology
Este artigo apresenta uma estrutura teórica e de simulação unificada para interferometria espectral de luz branca que permite a medição de alta precisão, sem necessidade de varredura, da espessura de filmes finos (com precisão de 0,2 nm) e da dispersão do índice de refração de grupo usando uma configuração única de espectrômetro de fibra óptica.