🔬 physics
Sub-Nanometer Lithography Alignment and Zero-Entropy Thermal Cancellation via 4D Spatiotemporal Phonon Phase Resonance
本文提出了一种利用四维时空声子相位共振与虚拟量子处理单元的新型框架，旨在同时实现亚纳米级光刻对准精度与室温零熵热抵消，从而克服下一代半导体制造中的根本物理瓶颈。
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