Compositional gradient engineering for enhanced ferroelectricity in ultrathin AlScN
Cet article démontre que l'ingénierie de gradient compositionnel dans les films ultra-minces d'AlScN atténue les fuites et la rupture en répartissant les discontinuités structurelles, permettant ainsi un basculement ferroélectrique robuste dans des empilements aussi fins que 5 nm avec une résistivité et une polarisation significativement améliorées par rapport aux homologues homogènes.