A 4-DOF piezoelectric stage based on distributed electrode-excitation of piezoelectric unimorphs
Cet article présente la conception, la simulation par éléments finis et la fabrication expérimentale d'une nouvelle platine piézoélectrique monolithique à 4 degrés de liberté utilisant l'excitation par électrodes distribuées d'unimorphes, laquelle réalise des déplacements spécifiques de basculement en X, de basculement en Y, de translation en Z et de rotation en Z à 100 V CC.