Monolithic Integration of Piezo-Optomechanical Photonics and CMOS Electronics
Cet article présente la première plateforme entièrement monolithique, fabriquée en tout CMOS, qui intègre des circuits photoniques piézo-optico-mécaniques avec de l'électronique de commande commerciale à haute densité sur des plaquettes de 200 mm, permettant des dispositifs photoniques reprogrammables, évolutifs, à faible consommation et à haute vitesse pour des applications allant de l'informatique quantique à l'IA.