A kinetic-moment framework for electron energy dynamics in capacitively coupled plasmas: absorption, conversion, transport, and dissipation
Cet article propose un cadre de moment cinétique basé sur des simulations PIC/MCC pour décrire quantitativement la dynamique de l'énergie électronique dans les plasmas à couplage capacitif à basse pression, révélant que les électrons acquièrent une énergie cinétique dirigée dans la gaine, la convertissent en énergie thermique via des interactions pression-déformation et des collisions, et la transportent de manière non locale vers le cœur où elle est dissipée par des collisions inélastiques, tout en démontant que le flux de chaleur s'écarte significativement de la loi de Fourier.