Transition Metal Dichalcogenide MoS: oxygen and fluorine functionalization for selective plasma processing
Este estudo demonstra que a funcionalização com oxigênio e flúor, combinada com baixas temperaturas, amplia significativamente a janela de energia de processamento de plasma para a remoção seletiva de enxofre do MoS₂ sem danificar a rede metálica, estabelecendo parâmetros-chave para o controle de danos em materiais TMD.