Uncertainty-aware calibration from SEM profiles to electrical response using coupled process and device TCAD
Este artigo introduz uma estrutura computacional de malha fechada e consciente da incerteza que mapeia perfis de SEM para respostas elétricas ao propagar distribuições de contorno através de simulações TCAD de processo e dispositivo acopladas, melhorando, assim, a precisão da predição elétrica e a eficiência de anotação em comparação com a calibração convencional de fronteira rígida.