Fabrication and Electrical Characterization of Radio Frequency Magnetron Sputtered Al₂O₃ Thin-Film Metal–Insulator–Metal Capacitors on Platinized Silicon
Este estudo demonstra a fabricação e caracterização bem-sucedidas de capacitores Metal-Isolante-Metal de alta qualidade utilizando filmes finos de Al₂O₃ de 60 nm depositados por pulverização catódica de magnetron de RF sobre silício platinado, os quais exibem morfologia suave, corrente de fuga negligenciável e propriedades dielétricas estáveis adequadas para aplicações eletrônicas.