Wafer-bonded symmetric four-terminal PZT/insulator/PZT MEMS bimorph actuator with near-ideal displacement superposition
Cet article présente un actionneur bimorphe MEMS PZT/isolant/PZT à quatre bornes, sans cale de silicium et lié par liaison de plaquettes, qui réalise une superposition de déplacement quasi idéale et un déplacement de pointe considérablement amélioré grâce à une actionnement actif-actif symétrique sans nœuds conducteurs internes partagés.