SemiFA: An Agentic Multi-Modal Framework for Autonomous Semiconductor Failure Analysis Report Generation
Le papier présente SemiFA, un cadre multi-modal agentic qui automatise la génération de rapports d'analyse de défaillance des semi-conducteurs en moins d'une minute en fusionnant des images de défauts, des télémesures d'équipement SECS/GEM et des données historiques via un pipeline d'agents LangGraph.