SemiFA: An Agentic Multi-Modal Framework for Autonomous Semiconductor Failure Analysis Report Generation
Dit paper introduceert SemiFA, een autonoom multi-modaal agentisch framework dat defecten in halfgeleiders analyseert en binnen een minuut gestructureerde falingsrapporten genereert door inspectieafbeeldingen te combineren met SECS/GEM-apparatuurdata en historische records.